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真空泵维修钛升华器的结构

日期:2018-7-28 10:44:23 人气:

真空泵维修钛升华器的结构

对钛升华器的要求是:能提供所需要的钛升华率;钛升华率易于调节,可连续或间断地供应吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去

气;要有足够的工作寿命,即要有足够的钛储存量。对于不同口径、不同工作压力的泵,要求的升华率和吸气剂储量差别很大,可

以从每小时几十克甚至到几百克的升华率,上千克的储存量。因此很难设计一种升华器满足这样宽的要求。通常可分为低升华率的

和高升华率的两种升华器。

低升华率的升华器大多在小型系统中,用以帮助溅射离子泵启动,或者提供较大的活性气体抽速,通常把升华率每小时几十毫克,

吸气剂储量为几克到几十克的升华器,称为小功率升华器。对这种升华器的主要要求是工作可靠,操作方便,结构简单。

高升华率的升华器通常用于做主泵的系统中。要求升华率在每小时几克到几十克,特殊的也有每小时几百克的。为保证工作寿命,

储钛量要求尽可能的多。

钛升华器按加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等四种类型。

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